中图仪器SJ6000激光干涉仪在高精密直驱平台上的应用

高精密直驱平台广泛应用于半导体晶圆检测、微电子组件测试取放、DNA测序、激光加工等领域，定位精度要求高，线性位移100mm行程范围内定位误差要求≤1μm。人类头发直径约70μm，就是要比人类头发直径的70分之1还要小，如此高定位精度的平台测量和校准普通检测设备根本无法做到。

中图仪器SJ6000激光干涉仪为客户直驱平台定位精度的测量和验证提供了良好的解决方案，精度达到纳米级，在稳定的实验条件下满足了客户测量和校准的要求，提高了客户产品的质量和检测效率，取得了不错的市场反响。

测量时，根据直驱平台移动模式设定好SJ6000软件采集设置。测量时实时显示测量误差，完成后即时生成测量报告。报告显示设备的定位精度在100nm内，反向差值在40nm内。

SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。