机床激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的(位害和几何)精度校正,具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。可完成各项参数的测量。如线形位置精度、重复定位精度、机床角度、直线度、垂直度、平行度及平面度等。其次,它还具有一些选择功能,如自动螺距误差补偿(适用大多数控系统),机床动态特性测量与评估,回转坐标分度精度标定,车床触发脉冲输入输出功能等。
通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有*的精度和效率,为机床误差修正提供依据。
机床激光干涉仪的应用:
1、是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线,为机床的修正提供可靠依据。
2、配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差,在现场使用尤为方便。
3、可方便地安装在测长机上,取代原测长机的坐标系统,作为一般计量室中的长度基准。
4、是一种高精度的位移传感器,可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统,使定位精度大为提高。
5、具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能,仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作。
6、与圆分度器结合使用是一套高精度长度—角度比相计,可作为机床传动链,丝杆螺旋线等误差的测量系统。