国产激光干涉仪是一种精密测量仪器,利用激光干涉原理进行测量和分析。通过将激光束分为两路,并通过反射、干涉和检测等过程,实现对物体表面形貌、位移、震动等参数的测量。其基本原理为干涉光束之间的相位差变化与待测参数相关联,通过对干涉光的分析和处理,可以获得高精度的测量结果。
功能:
高精度测量:具备高精度测量能力,可以实现亚微米级别的位移和形貌测量。这对于一些需要高精度测量的领域,如微细加工、纳米技术研究等具有重要意义。
实时监测:可以实现实时监测和反馈控制,能够对待测物体的变化进行快速准确的检测,并及时调整参数或处理方式。这对于工程和制造业中的在线监控和质量控制至关重要。
非接触性测量:国产激光干涉仪采用非接触性测量方式,可以避免传统测量方法可能引起的表面损伤或污染问题。这对于对待测物体要求较高的场景,如光学元件、精密机械零件等具有特别的优势。
表面形貌测量:可以通过测量物体表面的干涉图案来获取其形貌信息。它可以实现对平面、曲面和复杂结构等不同形状的物体进行精确的形貌测量。
位移测量:可用于测量物体的微小位移,例如材料的膨胀、振动和微动等。它可以实时监测物体的位置变化,并提供高精度的位移测量结果。
薄膜厚度分析:可以应用于薄膜的厚度和折射率分析。通过测量干涉图案的变化,可以准确计算薄膜的厚度和其它光学参数,对材料的质量和性能进行评估。
振动分析:可以检测物体表面的微小振动。它可以用于机械结构的模态分析、振动模式的测量和噪声分析等领域,为工程振动问题的研究和分析提供有力工具。
光学元件检测:可应用于光学元件的加工和检测中。它可以实时监测光学表面的形貌误差、表面质量和光学性能,为光学元件的制造和质量控制提供有效支持。
总的来说,国产激光干涉仪具备高精度测量、实时监测和非接触性测量等功能,广泛应用于科学研究、工程应用和制造业等领域,为相关行业提供了重要的测量和分析手段。