共聚焦显微镜在化学机械抛光课题研究中的应用

两个物体表面相互接触即会产生相互作用力，研究具有相对运动的相互作用表面间的摩擦、润滑与磨损及其三者之间关系即为摩擦学，目前摩擦学已涵盖了化学机械抛光、生物摩擦、流体摩擦等多个细分研究方向，其研究的数值量级也涵盖了亚纳米到百微米的区间。摩擦本身是一种能量损耗现象，然而得到合理地利用也能产生巨大的正面效益，因此，准确地测定磨损量并进行精确的控制，是摩擦学研究中的一个重难点。

作为一家专业的微纳3D形貌检测仪器厂商，中图仪器的SuperView系列光学3D表面轮廓仪已在国内各**高校从事化学机械抛光课题研究的教授群体中得到广泛应用，因样件多为超光滑抛光表面，采用光学3D表面轮廓仪较为合适，其中较为关键的粗糙度Sa和Ra等参数，能够确保0.1nm的精度。而针对磨损区域较大、坡度也较为陡峭的生物摩擦和流体摩擦领域，采用中图VT6000系列共聚焦显微镜则更加匹配，其远胜于光学3D表面轮廓仪的大角度测量能力和超景深观察功能，能够轻松胜任磨损较为严重的表面形貌检测，从而帮助研究人员更加精准的掌握磨损量评价数据。