从“制造”到“智造”：中图光学测量仪器的进阶与应用

在当今全球化和科技快速发展的时代，制造业正经历着从传统的“制造"模式向智能化的“智造"模式的深刻转变。消费者对产品质量和个性化的要求越来越高，产品的更新换代速度加快，传统的制造模式难以满足这些需求。

例如，在半导体芯片制造领域，随着芯片制程的不断缩小，对芯片表面的平整度和粗糙度等微观几何特征的要求越来越高。同时，3C电子行业的快速发展也促使产品更新换代加速，对产品质量和个性化的要求也日益严苛。同时，劳动力成本上升、原材料价格波动等因素也给制造业带来了巨大的压力。

在这种背景下，制造业必须转型升级，实现智能化生产，提高生产效率和产品质量，降低成本，增强市场竞争力。这一转变不仅是技术的革新，更是适应市场竞争和满足社会需求的必然选择。在这个过程中，先进的测量仪器起着至关重要的作用，它们为制造业提供了精确的数据支持和质量保障。

从“制造"到“智造"，中图光学测量仪器为提高产品质量和推动行业发展提供有力的技术支持。

1、SuperView W1光学3D表面轮廓仪

（1）产品特点与应用

SuperView W1光学3D表面轮廓仪以其先进的白光干涉技术在精密测量领域脱颖而出。它能够对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量，可测各类从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。在半导体制造中，它可以精确测量芯片表面的微观几何特征，为芯片制造工艺的优化提供关键数据支持，确保芯片在更小制程下的性能和稳定性。

（2）助力“智造"转型

该仪器的高效测量功能，如单区域自动测量、多区域自动测量、自动拼接测量和编程测量等，大大提高了测量效率，符合智能化生产对高效检测的要求。同时，其精准的数据处理与分析能力，包括位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能以及粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，能够获取准确的2D、3D参数，为产品质量控制和生产工艺优化提供了有力依据。

2、VT6000共聚焦显微镜

（1）产品特点与应用

VT6000系列共聚焦显微镜采用共聚焦技术，为精密器件及材料表面的微纳米级测量提供了可靠的解决方案。它具备的3D测量功能，能够表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能，提供更全面的表面形貌信息。在光学加工领域，它可以精确测量光学镜片的表面粗糙度和微观几何轮廓，确保光学镜片的光学性能符合高标准要求。

（2）助力“智造"转型

除了3D测量功能外，它还具备影像测量功能可进行长度、角度、半径等尺寸测量，以及自动拼接功能能够实现大区域的拼接缝合测量。这些功能与精准的数据处理与分析能力，包括调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能以及粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能相结合，确保测量结果的准确性，为生产工艺优化和产品质量提升提供了重要支持，推动制造业向智能化迈进。

3、SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪

（1）集合优点

·测量模式的集成：当测量超光滑和透明的表面形貌时，可使用白光干涉模式的高精度测量能力，可获得高精度无失真的图像并进行粗糙度等参数的分析；当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时，使用共聚焦显微镜模式的大角度测量能力，可实现大角度的3D形貌图像重构。

·广泛的测量范围：能够对从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面进行测量，涵盖了SuperView W1和VT6000的测量范围，可测各类从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

·精准的数据处理与分析：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能，以及粗糙度分析、几何轮廓分析、动态分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，与SuperView W1和VT6000的数据处理和并行的功能相似，确保测量结果的准确性。

（2）应用优势

·满足多样化需求：无论是在半导体制造、光学加工等超精密加工行业，还是在航空航天、科研院所等领域，都能满足对精密器件及材料表面进行测量的需求。在当前半导体芯片制造对微观几何特征要求高的背景下，它能提供全面准确的测量，确保芯片质量。

·提供全面的评价标准：可提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准，为产品质量的评估提供了全面的依据，符合不同行业对产品质量评估的规范要求。

这三款光学测量仪器能够精确测量产品表面的粗糙度、平整度、微观几何轮廓等参数，为产品质量的控制提供了准确的数据支持；测量不同阶段产品的表面形貌，为生产工艺的优化提供数据依据；通过提高产品质量和优化生产工艺，制造商可以降低产品的废品率和返工率，从而降低生产成本。同时，这三款仪器的高效测量功能也可以提高测量效率，减少测量时间和人力成本。在当前制造业竞争激烈，成本控制至关重要的情况下，这三款仪器为企业提供了有效的成本控制手段。

例如在3C电子行业，通过精确测量手机屏幕玻璃的粗糙度和微观几何轮廓，可以确保屏幕的显示效果和触感。通过对测量数据的分析，制造商可以及时发现产品存在的问题，采取相应的措施进行改进，从而提高产品质量。

在半导体制造中，通过测量芯片表面在不同工艺阶段的粗糙度和微观几何轮廓，可以优化光刻、蚀刻等工艺，提高芯片的制造质量和生产效率。

从“制造"到“智造"是制造业发展的必然趋势，先进的测量仪器是实现这一转变的重要支撑。在未来的制造业发展中，这些测量仪器将不断创新和发展，为制造业的智能化升级提供更强大的动力。