SJ6000激光干涉仪荣获2020年中国仪器仪表学会科技进步二等奖

本项目SJ6000激光干涉仪具有完整的自主知识产权，稳频精度≤0.04ppm，测量精度0.5ppm,大测量距离80米，技术指标达到先进水平。

SJ6000激光干涉仪可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等多几何参量的高精密测量，用于检测数控机床、自动化设备、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等，以及进行数控机床、三坐标测量机的精度补偿。

SJ6000激光干涉仪满足了我国各级计量院所、精密加工制造、先进数控机床、精密仪器等领域在高精度和大量程长度测量方面的需求，提升了我国自主的高精密激光测量水平和计量检定装备的水平。

不忘铸器初心，牢记图强使命，中图仪器持续投资研发极小和极大尺寸的ODS超精密光学仪器，为3C电子、泛半导体业和大型装备制造业提供自主可控的关键技术设备。