三维表面轮廓仪是一种用于电力电子工程领域的物理性能测试仪器。可测量各种精蜜机械零件的素数线形状、直线度、角度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽等参数。
该仪器广泛应用于机械加工、电机、汽车零部件、摩托车零部件、精蜜五金、精蜜工具、刀具、模具、光学元件等行业。适用于科研院所、大专院校、计量机构、企业计量室、车间。可测量轴承、滚针、活塞、阀门、阀门、齿轮、滚子、电机轴、曲轴、圆柱销、活塞销、油泵喷嘴、液压件、气动件、纺织机械配件等。
三维表面轮廓仪的主要功能有哪些呢?
1、在被测表面反射率R=4%~100%范围内,可获得理想的真彩色白光干涉图,干涉图质量不低于国外同类产品。只有80%的国外类似仪器被迫停止测试。
2、测试各种表面粗糙度,包括:纯金属光滑表面、光学表面、化合物半导体涂层表面、聚合物和聚合物塑料表面、薄石墨层表面、精蜜机械表面等。测试范围RA=0.001μM至0.2μM
3、将被测表面准确调整到主表面水平内,表面粗糙度轮廓以轻微色差显示。这是国际杂志报道的利用白光干涉检测薄表面和超薄表面的有效方法。
4、使用真彩色白光和黑色干涉条纹移动,1)恢复薄膜和基板之间过渡区域的3D形态,2)测试薄膜厚度,3)测试过渡区域的上升陡度。
5、通过干涉条纹判断光学球面的表面加工质量。
6、通过移动真彩色白光和黑色干涉条纹来测量表面缺陷的深度和宽度。
7、压电陶瓷叠层PZT用于深度扫描几十层,以恢复表面三维轮廓。
三维表面轮廓仪采用非接触测量技术,具有亚纳米级测量精度(在所有放大倍数下),可以更快更好地测量各种样品表面。这是一种回报率非常高的产品。满足各种应用的需要,包括平面度,粗糙度和波纹度,薄膜和台阶高度,它几乎适用于任何材料表面。