SuperViewW1中图光学3D表面轮廓仪器基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
SuperViewW系列3D轮廓仪三维形貌仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SJ5700S大量程粗糙度轮廓仪采用高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能计算机控制系统技术,实现对各种工件表面轮廓进行测量和分析。
中图仪器SuperViewW1三维自动光学检测轮廓仪以白光干涉技术为原理,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
SJ5800接触式二维轮廓测量仪可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量,尤其是大范围曲面、斜面进行粗糙度及轮廓尺寸一次性检测,如圆弧面和球面、异型曲面进行多种粗糙度参数(如Ra、Rz等)、微观轮廓度Pt、波纹度参数的测量。
中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。
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