SJ5730高精度轮廓度测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨，移动精度高、稳定性好、寿命长；测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。

SuperViewW1轮廓度光学测量仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。针对芯片封装测试流程的测量需求，SuperViewW1非接触式光学轮廓测量仪的X/Y方向标准行程为140*100mm，满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围，可覆盖8英寸及以下晶圆，定

SJ5800中图接触式轮廓仪可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量，尤其是大范围曲面、斜面进行粗糙度检测，如圆弧面和球面、异型曲面进行多种粗糙度参数、微观轮廓度参数的测量。同时仪器还可对各种精密零件轮廓度、波纹度进行测量，对形状参数进行分析。

SuperViewW1粗糙度轮廓光学测量仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器轮廓扫描测量仪X轴、Z轴采用独立运动系统，使用先进的两轴联动运动控制算法，可实现X、Z双轴联动扫描，测量时测针在工件表面做仿形运动扫描（主动扫描），既保持了恒测力，又保证了大的陡坡通过能力，工件调平操作简单，同时避免了崩针、挂针等问题。该产品还支持量程定制，适用于各行业领域的实验室或工作现场使用。

SuperViewW1三维光学轮廓形貌仪是一款既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的光学检测仪器。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。