SuperViewW1光学表面轮廓仪中图仪器可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。

SuperViewW系列高精密光学轮廓测量仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

SuperViewW1半导体薄膜光学轮廓无损检测仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

SJ5760-PR高精度轮廓尺寸测量仪是全自动检测仪器，所以在测量时只需要检定人员简单操作即可完成对工件的测量。测量精度高，量程大，测量速度快，智能化应用与检定软件相结合，保护测针和测量系统，仪器操作灵活自如，可以大大提高测量工作效率。

中图仪器W1光学全自动三次元轮廓测量仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高，且其隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性。

​轮廓形状测量仪SJ5700是测量轮廓形状及表面粗糙度的一体机，具备分析测量轮廓形状和表面租糙度的强大功能。实现尺寸、形状、粗糙度三个要素的精准测量。用于测量各种零件的直线度、倾斜度、角度处理、圆度处理、双沟处理、双圆弧处理等机械零件表面微观几何结构和宏观几何形状的参数。