中图仪器3d光学检测轮廓仪可测量程范围内的三维尺寸,不过主要还是用于检测样品表面的粗糙度、台阶高、微观几何轮廓等参数。
中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓仪设备载物台(XY)局部位移精度和线性精度为亚微米,Z向运动精度可达数纳米,线性精度可达亚纳米级别。
中图仪器3d轮廓检测仪让轮廓测量价格变实惠,适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、台阶高度、粗糙度、表面缺陷、磨损情况、孔隙间隙、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
W1光学轮廓仪是通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
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