SuperViewW1中图国产白光干涉仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性。

VT6000共聚焦测量显微镜以针孔共聚焦技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测，对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。

中图仪器VT6000共聚焦显微镜品牌是一款在材料领域中，用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的光学检测仪器。采用全电动化设计，并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换，图像视窗和分析视窗同界面的设计风格，实现了所见即所得的快速检测效果。

中图仪器VT6000系列激光共聚焦扫描显微镜配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现。仪器采用自研的电动鼻轮塔台，并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化，确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。

中图仪器VT6000激光共聚焦光学显微镜采用全电动化设计，并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换，图像视窗和分析视窗同界面的设计风格，实现了所见即所得的快速检测效果。主要用于对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

VT6000转盘共聚焦扫描显微镜仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内，亦可采用笔记本电脑驱动，实现了“拎着走”的便携式设计；采用自研的电动鼻轮塔台，并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化，在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。