NS系列探针式高重复性台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

SuperViewW白光干涉微观三维形貌测量仪测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

有图晶圆共聚焦高精度测量显微镜横向分辨率高，所展示的图像形态细节更清晰更微细，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

NS系列微观二维形貌轮廓台阶测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度。

NS系列探针式轮廓薄膜表面台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。

VT6000材料共聚焦3D测量显微镜一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。所展示的图像形态细节更清晰更微细，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。