表面光学轮廓仪

在微电子、微机械、微光学等领域，白光干涉仪可以提供更高精度的检测需求。但白光干涉仪由于镜头视野较小，要想测量物体整个区域的表面情况，只能用自动拼接测量功能，但耗时较多，这时候可以用自动多区域测量功能，在样品表面抽取多个测量区域进行测量，从而对样品进行评估分析。

中图仪器SuperViewW1表面光学轮廓仪自动拼接功能的使用，即不管是在光滑还是粗糙、平面亦或是异形结构，当必须测量超出适配镜头下的单视场区域时，都可以采用自动拼接，可根据不同表面特点进行重建算法的切换，无论何种形貌，都可生成3D全景。

测量方法很简单：

1.点击XY复位，使得SuperViewW系列表面光学轮廓仪的镜头复位到载物台中心

2.将被测物放置在载物台夹具上，被测物中心大致和载物台中心重合；3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件；4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度，找到干涉条纹；5.设置好扫描方式和扫描范围；6.点击选项图标，确认自动找条纹上下限无误；7.点击多区域测量图标，可选择方形和（椭）圆形两种测量区域形状；9.根据被测物形状和尺寸，"形状"栏选择“椭圆平面"，X和Y方向按需设置；10.点击弹出框右下角的“开始"图标，仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。

深圳市中图仪器股份有限公司成立十多年来，一直坚持以技术创新为发展基础，历经了十多年的技术积累和发展实践，在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了设计、制造优势，具备了从纳米到百米为用户提供精密测量解决方案的能力。