详细介绍
品牌 | 中图仪器 | 产地 | 国产 |
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加工定制 | 否 |
白光干涉仪可以对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、面形轮廓、腐蚀情况、波纹度、平面度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、磨损情况、表面缺陷、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
中图仪器SuperViewW1白光干涉测量仪在镜头的上方安装有机械防撞传感器,当镜头向下位移与样品表面直接接触时,触发感应器,镜头与样品表面变为软接触,并触发紧急停止开关,不再响应向下位移的指令,避免镜头和样品的损伤,双重防护,守护设备和产品。
大多数的场景中,只需检测一个数十、数百微米的区域,但在少数需要检测超精密器件表面全貌的场景中,SuperViewW1白光干涉测量仪的自动拼接功能,能够快速实现大区域、高精度的测量,还支持自动聚焦功能,只需将Z向调到贴近样品表面(小于镜头工作距离),选择好聚焦范围,即可自动聚焦到样品清晰成像表面并获取干涉条纹。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、3C电子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取
一是非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件;
二是测量速度快,不必像探头逐点进行测量;
三是不必作探头半径补正,光点位置就是工件表面测量的位置;
四是对高深宽比的沟槽结构,可以快速而准确的得到理想的测量结果。
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