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品牌 | 中图仪器 | 产地 | 国产 |
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加工定制 | 否 |
光学3D表面轮廓仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
产品功能
1)系统光源及寿命:双LED光源(白光和绿光),10万小时超长寿命,终身无需更换;
2)测量模式:垂直扫描干涉模式(VSI),相移干涉模式(PSI),结合VSI和PSI的自适应通用测量模式(USI)
3)多区域自动分析:自动获取图案化形貌区域的三维信息(高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等),同时具有自动统计分析功能。提供软件截图;
4)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;
5)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;
6)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;
7)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;
8)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;
9)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;
10)具备word、excel等数据报表导出功能。
光学3D表面轮廓仪
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC | |
3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差 | |
超精密加工.光学透镜 | 精密加工.发动机叶片 |
精密加工.金字塔型金刚石磁头 | 标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度 |
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