详细介绍
品牌 | 中图仪器 | 适用行业 | 电磁机械 |
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产地 | 国产 | 加工定制 | 否 |
一键批量分析白光干涉测头
SuperView WX 100白光干涉测头是一款非接触式精密光学测头,其基于白光干涉和精密扫描研制而成,主要由光学干涉系统和Z向扫描系统组成,具有体积小、重量轻、便携的特点,能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上,在产线上对器件表面进行自动化形式的测量,直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。
产品功能
1、测量功能:能够实现样件表面的高精密Z向扫描,获取3D图像;
2、分析功能:能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据;
3、编程功能:支持预配置数据处理和分析工具步骤,一键完成测量到分析全过程;
4、批量分析:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数数据实现一键批量分析;
一键批量分析白光干涉测头
应用领域:
对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例:
半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC |
3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、金属壳模具瑕疵、玻璃屏高度差 |
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