三维光学轮廓仪

SuperViewW1三维光学轮廓仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，具有高精度、高重复性特点。一体化操作的测量分析软件，以及集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

仪器分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

轮廓分析步骤

1.将样品放置在载物台镜头下方；

2.检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；

3.使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹；

4.微调XY轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹；

5.完成扫描设置和命名等操作；

6.点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；

7.台阶样品分析第一步：校平；

8.进入数据处理界面，点击“校平"图标，和平面样品不同，台阶样品需手动选取基准区域，选好基准区域后，先“全部排除"再“包括"；

9.若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致，可多选择几个区域作为基准面进行校平；

10.台阶高度测量：线台阶高度测量

11.进入分析工具界面，点击“台阶高度"图标，即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据；

12.在右侧点击“手动检测"，根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值；

13.台阶高度测量：线台阶高度测量

14.进入数据处理界面，点击“提取剖面"图标，使用合适方向的剖面线，提取目标位置的剖面轮廓曲线；

15.进入分析工具界面，点击“台阶高度"图标，由于所测为中间凹槽到两侧平面高度，因此点击右侧工具栏，测量条对数选择“2"，将红色基准线对放置到凹槽平面中间，两对测量线对分别放置在两侧平面，即可在数据缆读取台阶高度数据。

SuperViewW1三维光学轮廓仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。