SJ6000光学干涉仪

SJ6000光学干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是高精度、高灵敏度的测量仪器。测量分辨率可达0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。

产品功能

(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

(3)可实现对机床回转轴的测量与校准；

(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

(5)具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

(6)支持手动或自动进行环境补偿。

精度高

SJ6000光学干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

激光干涉仪对机床运动导轨和滚珠丝杆的各项参数检测分析、校准补偿的重要性，而机床在装配、加工、生产的同时需要频繁的使用到激光干涉仪，来进行多种几何量精度参数的测量以及动态性能的测试、分析。从宏观角度来讲，激光干涉仪对机床工具产业乃至整个制造工业的升级，都是功不可没的。