详细介绍
品牌 | 中图仪器 | 产地 | 国产 |
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加工定制 | 否 |
SJ6000工业激光干涉测量仪可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析。内置13份标准,包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
激光的高方向性、高相干性和高单色性特点,使其具有普通光源所没有的优势。以激光干涉技术为核心,SJ6000工业激光干涉测量仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。采用的激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出,并且干涉镜与主机分离设计,避免了干涉镜受热影响,保证了干涉光路稳定可靠。
(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;
(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
(6)支持手动或自动进行环境补偿。
主机
稳频精度:0.05ppm
动态采集频率:50 kHz
预热时间:≤ 6分钟
工作温度范围:(0~40)℃
存储温度范围:(-20~70)℃
环境湿度:(0~95)%RH
环境补偿单元
空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
材料温度传感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃
空气湿度传感器:±6%RH (0~95)%RH
大气压力传感器:±0.1kPa (65~115)kPa
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