SJ6000激光干涉光学测量仪

中图仪器SJ6000激光干涉光学测量仪测量分辨率可达0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。它具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

SJ6000激光干涉光学测量仪是一个交流测试系统，当激光光束强度受环境影响发生变化时，其频率不会受光强变化影响发生变化，也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此，它的干扰能力强，精度高，测量结果可靠，在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。

性能特点

1.易操作，方便携带

SJ6000激光干涉仪和镜组以及环境补偿器，外形小巧美观方便携带，一套完整的激光干涉仪和镜组只需要装在一个类似于行李箱的工具箱中，整体加起来的重量在15kg左右，再加上一个可以自由伸缩调整高度的三脚架（装在无纺编织袋中），随时随地可用于机械测量！激光干涉仪与环境补偿器都有端口和计算机USB接口相连，实时传递检测数据，供计算机检定软件测算，检定过程轻松易掌握，没有复杂的程序设定。

2.高精确度保证动态性能

氦氖激光器持续输出高稳频的激光源，再加上环境补偿器，使线性测量的精度稳定在0.5ppm，动态采集数据频率高达50KHz，测量速度4m/sec，高速测量下的分辨率为1nm，干涉法测量让您对检测结果有信心。

3.高品质技术

精心的设计和严格把关的制造，持续提供技术支持，对产品质量保证都显得尤为重要，售前、售中、售后和全国网络支持。

4.适用性和灵活性

SJ6000激光干涉仪架设灵活，对各种复杂结构的机床、平台和导轨都具有广泛适用性，测量快速简便，减少重复定位测量的时间，同时得到准确直观的检测数据。

回转轴精度测量

三坐标测量

SJ6000激光干涉仪具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。