详细介绍
品牌 | 中图仪器 | 产地 | 国产 |
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加工定制 | 否 |
CHOTEST中图仪器SuperViewW1白光干涉三维轮廓仪是以白光干涉技术原理,对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
型号 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系统 | 1024×1024 | |
干涉物镜 | 标配:10× 选配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
光学ZOOM | 标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1× | |
标准视场 | 0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×) | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移动范围 | 140×100㎜ | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 电动 | |
Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 电动 | |
形貌重复性 | 0.1nm | |
粗糙度RMS重复性 | 0.005nm | |
台阶测量 | 准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ) | |
可测样品反射率 | 0.05%~100% | |
主机尺寸 | 700×606×920㎜ |
1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
结果组成:
1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;
6、微电子表面分析和MEMS表征。
超精密加工
针对芯片封装测试流程的测量需求,SuperViewW1白光干涉三维轮廓仪的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围,可覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。
白光干涉仪是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,除了白光干涉仪,其它仪器达不到检测的精度要求。
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