单频激光干涉仪sj6000

单频激光干涉仪sj6000自动采集数据，避免人为读数误差，精度高；测量过程全自动化，效率高；可测量任意方向的回转轴，可测量任意角度间隔，通用性强；可自动生成误差曲线和补偿数据，根据不同标准自动计算定位精度结果，无需人工计算。

单频激光干涉仪sj6000结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

性能特点

1.测量精度高、速度快，稳定性好

（1）使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

（2）以光波长为测量单位，分辨率可达nm级

（3）使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

（4）配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

（5）分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

（1）可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

（2）结合软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

（3）可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

（1）使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

（2）将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

（3）向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

线性测量功能

线性测量（线性轴位置精度测量的简称）配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。

广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

sj6000激光干涉仪具有高精度、高灵敏度、非接触式测量等优点，集光、机、电、计算机等技术于一体，在计量领域中可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。