运动导轨精度快速激光干涉测量仪

中图仪器SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级。仪器采用的激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出，并且干涉镜与主机分离设计，避免了干涉镜受热影响，保证了干涉光路稳定可靠。

SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

线性测量应用

SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

动态测量应用

基于时间的动态测量

机器运动控制性能评价：

1.运动控制器PID控制参数测试与设置

2.高速运动后机器的稳定性测试与评价

3.高性能运动控制器的微小步幅的测试

振动监视

1.扫描应用：用于定位精度不重要，但恒速对实现高质量成像非常关键的场合

2.机床应用：典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工

振动频率分析

1.被测对象的振动频率分析

2.FFT快速傅立叶变换分析

基于距离的动态测量

基于距离的动态测量，SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行"测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户间隔进行数据采集。

提供脉冲触发方式采集

CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，触发激光干涉仪按间隔位置进行数据采集。

SJ6000激光干涉仪利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，环境适应能力强。

产品功能

（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；

（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

（6）支持手动或自动进行环境补偿。

测量软件

（1）友好的人机界面；

（2）丰富的应用功能模块；

（3）向导式的操作流程；

（4）简洁化的记录管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企业专属模板定制。

部分技术指标

主机

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：≤ 6分钟

工作温度范围：(0~40)℃

存储温度范围：(-20~70)℃

环境湿度：(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH

大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa

线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

角度测量范围：±10°

平面度测量范围：±1.5mm

直线度测量范围：±3mm

垂直度测量范围：±3/M mm/m

便携箱尺寸：613*460*230mm

标准配置重量：18kg

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。