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中图仪器3d光学轮廓仪高精度测量仪在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperVirewW1光学3d表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。有非接触式无损检测,一键分析、快速高效的优点。
光学3D表面轮廓测量仪,是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。 非接触式无损检测,一键分析、快速高效
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