中图仪器3d光学轮廓仪国内品牌的重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

中图仪器SuperViewW1光学轮廓测量仪品牌由光学照明系统、光学成像系统、垂直扫描控制系统、信号处理系统、应用软件构成。以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌，主要用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。

OP光学轮廓仪主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓，也能测量晶圆翘曲度，适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。也称为白光干涉仪 (WLI)，是一款以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。测量三维形貌的系统原理是在视场范围内从样品表面底部到顶部逐层扫描，获得数百幅干涉条纹图像，找到该过程中每一个像素点处于光强最大时的位置，完

除了用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，W1三维光学轮廓仪具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

中图仪器SuperViewW1光学表面3d轮廓测量仪器能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。

​W1光学3d表面轮廓仪器能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，除主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。