SuperViewW系列高精密光学轮廓测量仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

SuperViewW1半导体薄膜光学轮廓无损检测仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

中图仪器W1光学全自动三次元轮廓测量仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高，且其隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性。

SuperViewW1光学轮廓粗糙度仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

光学扫描式成像测量机轮廓仪，以光学成像测量系统为基础，配合高精度运动机构和花岗岩龙门式底座，实现了测量精度、速度、稳定的**结合；结合高精度图像分析算法，并融入闪测原理，在测量范围内，任意摆放工件位置、方向、角度，仪器都可自动定位测量对象、匹配模板、测量评价、报表生成，真正实现快速精准测量。

SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪器的X/Y方向标准行程为140*100mm，满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。