中图仪器3d光学检测轮廓仪可测量程范围内的三维尺寸，不过主要还是用于检测样品表面的粗糙度、台阶高、微观几何轮廓等参数。

中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓仪设备载物台（XY）局部位移精度和线性精度为亚微米，Z向运动精度可达数纳米，线性精度可达亚纳米级别。

W1光学轮廓仪是通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

3d光学轮廓测量仪可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中。

SuperViewW1光学轮廓仪器广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。

SuperViewW1光学表面轮廓测量仪对产品进行高品质监控时不需要取下产品或停止生产，而且采用的是非接触式光学测量，在获得实时数据的同时，不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。