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随着白光干涉测量技术的发展和完善,白光干涉仪已经得到了广泛的应用。在微电子、微机械、微光学等领域,中图的光学式表面粗糙度轮廓仪可以提供更高精度的检测需求。
中图SuperView W1 3d光学轮廓仪检测仪器设备的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉轮廓仪。各类干涉物镜还决定了系统很多关键性能,如光学分辨率,工作距离,齐焦距离,坡度能力,视场范围等等。中图仪器提供丰富的各类物镜选择,以满足最挑战的测试需求。
SuperView W3 非接触光学轮廓仪可对测试样品的表面微纳形貌特征进行测量和分析,具有测量准确度高、应用范围广、智能化水平高等特点。产品经深圳市计量质量检测研究院计量校准,技术指标参数满足相关标准要求。
中图仪器光学3d表面轮廓仪能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测,不管是光滑或粗糙、平面或异形结构,当测量超出适配镜头下的单视场区域时,都可以采用自动拼接,根据不同表面特点进行重建算法的切换,无论何种形貌,都可生成“天衣无缝”的3D全景。
3D形貌地图配合色谱图,非常直观;但横向测试范围,纵向高度尺度也很关键。中图仪器研发生产的SuperView W1光学3d轮廓仪用于测量精密工件的微纳米三维形貌一键测量,自动拼接功能能够快速实现大区域、高精度的测量。
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