SuperViewW一键三维形貌光学检测轮廓仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

中图仪器3D显微形貌粗糙度光学轮廓仪SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。

SuperViewW全自动3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

SuperViewW光学摩擦磨损形貌轮廓测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器，它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点。

SuperViewW高精度光学3D轮廓测量仪实现各种精密器件及材料表面的亚纳米级测量。它能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。

SuperViewW光学3D轮廓仪检测仪以白光干涉技术为原理，针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，其复合型EPSI重建算法解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。