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SuperViewW1国产自研三维光学轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。
中图仪器SuperViewW1白光3D轮廓仪的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。
中图仪器SuperViewW纳米深度光学3D表面形状轮廓显微检测仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
中图仪器SuperViewW1光学轮廓仪测量表面粗糙度的仪器采用了扫描模块和内部抗振设计,可实现高测量精度重复性和高粗糙度RMS重复性。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。
SuperViewW1三维光学轮廓检测仪通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。是一款以白光干涉技术原理,对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器。
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