中图3D共聚焦显微镜VT6000是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

中图仪器VT6000系列共聚焦光学显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

中图仪器VT6000共聚焦高分辨率显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

在材料生产检测领域中，共聚焦工具显微镜测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

中图仪器VT6000共聚焦3D显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。主要采用3D捕获的成像技术，它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像，具有很强的纵向深度的分辨能力。所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜，擅长微纳级粗糙轮廓的检测。

共焦显微镜系统所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。VT6000共聚焦光学测量显微镜技术以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，在相同物镜放大的条件下，所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。