SuperViewW3大尺寸微观形貌仪白光干涉测量各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。

中图仪器W1国产白光干涉仪可以对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1白光干涉测量仪在镜头的上方安装有机械防撞传感器，避免镜头和样品的损伤，双重防护，守护设备和产品。

中图仪器SuperViewW1白光表面干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

SuperView W1白光干涉仪检测设备分辨率0.1μm，重复性0.1%，可以进行非接触式扫描并建立表面3D图像的测量过程，通过系统软件分析器件表面3D图像并进行数据处理与分析，实现了器件表面形貌3D测量的效率高与简化性。

​现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量。SuperView W1白光干涉仪检测仪器实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。