中图仪器利用客户现场一台已经废弃的三坐标平台进行气浮隔振改造，在完成隔振模块和WX-100白光干涉仪便携式测头的安装后，客户获得了一台具有超大尺寸平台和负载的高精度白光干涉仪。

Super View白光干涉仪国内品牌采用的测量方式是非接触无损测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。集合了自身白光干涉三维重建技术和微纳米显微测量三维软件，以及采用了集合相移法PSI的高精度和垂直法VSI大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI，分辨率0.1μm，重复性0.1%，比肩进口品牌，让轮廓测量价格*为实惠。

中图仪器白光干涉仪专用于非接触式快速测量，具有三维形貌测量和图像分析的功能。适合检测的样品按领域分为微纳材料、超精密加工（机械、光学）、半导体封装、消费电子类这四个领域。

SuperView W3白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、工科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，

SuperView WX 100白光干涉测头是一款非接触式精密光学测头，其基于白光干涉和精密扫描研制而成，主要由光学干涉系统和Z向扫描系统组成，具有体积小、重量轻、便携的特点，能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上，在产线上对器件表面进行自动化形式的测量，直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。