SuperViewW1白光干涉仪品牌是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

SuperViewW1Chotest中图白光干涉仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

SuperViewW1中图国产白光干涉仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性。

中图仪器3d白光光学干涉仪SuperViewW1双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。

SuperViewW1白光干涉仪三维显微镜以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。