NS系列高精度薄膜厚度台阶仪集成超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。
中图仪器NS系列探针式台阶仪薄膜表面粗糙度测试仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。
NS系列微纳米测量接触式台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。
NS系列纳米台阶测厚仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,其采用LVDC电容传感器,主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。
NS系列薄膜台阶高度测量仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。
NS系列接触式膜层厚度台阶仪采用接触式测量方式,主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
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