NS系列纳米级2D台阶高度测量仪采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
NS系列国产台阶仪器是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
中图国产台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。
中图仪器接触式台阶膜厚仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
NS系列高精度探针式轮廓仪台阶仪采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。
NS200接触探针式微纳米测量台阶仪采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。它利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。
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