SJ6000激光光学干涉仪是一个交流测试系统，当激光光束强度受环境影响发生变化时，其频率不会受光强变化影响发生变化，也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此，它的抗扰力强，精度高，测量结果可靠，在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。

中图仪器激光干涉仪测量集光、机、电、计算机等技术于一体，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

SJ6000中图激光干涉仪使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)。配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度。

便携自动精密转台，主要特点：小巧便携、功能强大、无线操作；回转轴测量配置主要由SJ6000主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000静态测量软件等组件构成。

激光干涉仪SJ6800，高精度测量、应用广泛、软件功能强大，以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准

激光干涉仪，以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今*的高精度、高灵敏度的测量仪器，在*端制造领域应用广泛。